防止从相邻的洁净度较低区域向无尘室传播污染的主要方法是：维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压差约为5~10PA。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差，目的是当房间门处于关闭情况时，通过缝隙的气流流向是由高级别无尘室流向低级别无尘室、由低级别无尘室流向走廊和服务区，再流向室外，这样就可减少由室外向服务区域、服务区域向低级别无尘室，低级别无尘室向高级别无尘室传播空气中的悬浮污染物。

       正压差值并非是越大越好，许多理论研究和实践都证明，人员物料通过门时，即使门两侧关门压差高达50~60pa，仍难绝对避免随人员、物料向内移动时的携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差别时，门敞开后，即便无人走动，在开口断面部分面积上也存在逆向气流，带入空气的悬浮污染物。此外，过高的正压差还会造成无尘室的门既难开启又难关严，门缝气流造成哨声噪声，以及因气流外溢过量而补风量增加，浪费能源和加重各级过滤器负担。

      洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分无尘室气流向门一侧运动的趋势，与无尘室在关门状态下的正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向无尘室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些无尘室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。

       此外，设置带有不能同时开启的两道门的缓冲间或气闸室，也是减少开门时传入空气中悬浮污染物的手段之一。

      一些常规程序，如进入洁净室穿专用鞋套，使用地面粘垫等也是减少带入外部污染的必要手段。