无尘车间的等级划分及应用行业-东莞市库林净化工程有限公司

无尘车间的等级划分及应用行业

2014-12-20 11:23:18 点击：

ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

ISO14644-1空气洁净度等级

ISO分级数 (N)	大于或等于表中粒径的最大浓度限值（PC/M³）
ISO分级数 (N)	0.1µm	0.2µm	0.3µm	0.5µm	1µm	5µm
ISOClass1	10	2
ISOClass2	100	24	10	4
ISOClass3	1,000	237	102	35	8
ISOClass4	10,000	2,370	1,020	352	83
ISOClass5	100,000	23,700	10,020	3,520	832	29
ISOClass6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
ISOClass7				352,000	83,200	2,930
ISOClass8				3,520,000	832,000	29,300
ISOClass9				35,200,000	8,320,000	293,000

美国联邦209E制定的洁净度标准

Class Name 等级		等级级限
		0.1µm		0.2µm		0.3µm		0.5µm		5µm
		容量单位		容量单位		容量单位		容量单位		容量单位
S1	English Unit	M³	Ft³	M³	Ft³	M³	Ft³	M³	Ft³	M³	Ft³
	英制	立方公尺	立方英尺	立方公尺	立方英尺	立方公尺	立方英尺	立方公尺	立方英尺	立方公尺	立方英尺
M1	1	350	9.91	7507	2.14	30.9	0.875	10	0.283
M1.5	1	1240	35.0	265	7.5	106	3.00	35.3	1
M2	10	3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83
M2.5	10	12400	350	2,650	75	1,060	30	353	10
M3	100	35,000	991	7,570	214	3,090	87.5	1,000	28.3
M3.5	100			26,500	750	10,600	300	3,530	100
M4	1,000			75,700	2,140	30,900	875	10,000	283
M4.5	1,000							35,300	1,000	274	7
M5	10,000							100,000	2,830	618	17.5
M5.5	10,000							353,000	10,000	2,470	70
M6	100,000							1,000,000	28,300	3,180	175
M6.5	100,000							3,530,000	100,000	24,700	700
M7								10,000,000	283,000	61,800	1,750

1级：这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。
10级：这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2um的半导体工业。
100级：很多人认为，这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间，这一洁净室大量应用于:植入体内物品的制造，外科手术，包括移植手术、集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
1000级：这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。
10000级：万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医药工业中也很常用。
100000级：十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

上一篇：光散射离散粒子计数器 2014/12/21
下一篇：无尘车间规划与设计的节能技术措施 2014/12/19